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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 마이크로/나노공학부문 춘계학술대회 강연 및 논문집
발행연도
2008.5
수록면
34 - 38 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2013

집속이온빔을 이용한 국부영역의 선택적 가공
김충수 ,  윤해성 ,  이현택 외 3명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2013.04 학술대회자료

2011

이온빔 조사 경로에 따른 집속이온빔 가공공정의 효율평가
김충수 ,  안성훈 ,  이길용 외 4명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2011.06 학술대회자료

2010

집속이온빔을 이용한 축대칭 마이크로 구조물의 가공공정에 대한 연구
김충수 ,  안성훈 ,  장동영 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2010.11 학술대회자료

2008

집속이온빔을 이용한 마이크로 엔드밀의 제작 및 절삭가공
김충수 ,  추원식 ,  김재현 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2008.05 학술대회자료

초록· 키워드

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Focused ion beam (FIB) technology has been introduced for fabricating various micro/nanoscale parts and components by providing hybrid fabrication functions, which are sputtering (destructive) and deposition (constructive). As a destructive method, the 17 ㎛ diameter micro-end mill with a four-facet was fabricated. As an initial work for smaller micro-end mill, the constructive method was applied to fabricate the micro-end mill by spraying the precursor gas of C₁₄H₁?. In order to investigate the mechanical property due to chemical composition, the constructed carbon structure for micro-end mill was characterized by EDAX and micro scale compression test. As a result, the 7 ㎛ diameter micro-end mill with a four-facet was developed. Both end mill tools were machined the workpiece (PMMA and polycarbonate), and their machining capability and feasibility were evaluated.
#Micro-machining(마이크로 가공) #Micro-end mill(마이크로 엔드밀) #Focused ion beam(집속이온빔)

목차

Abstract
1. 서론
2. 툴재료의 선정 및 평가
3. 마이크로 툴 제작
4. 마이크로 가공 실험 및 결과
5. 결론
후기
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