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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 마이크로/나노공학부문 춘계학술대회 강연 및 논문집
발행연도
2008.5
수록면
222 - 226 (5page)

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In this paper, Ni-Co alloys were characterized by various DC, Pulse(width, frequency) plating condition. Vickers Hardness testing machine, Optical microscope and X-ray diffraction(XRD) were used to characterize the alloy coatings respectively. Electrolyte flows were simulated to improve the deposition uniformity and mechanical properties. Good uniformity of electrolyte flow was found out at 22.5° of inlet angle.
#MEMS(멤스) #Ni-Co(니켈-코발트) #Electroplating(전기도금) #Hardness(경도)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 전기적 조건에 따른 특성
4. 최적 도금액 공급을 위한 유동해석
5. 결론
참고문헌

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