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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 생산 및 설계공학부문 춘계학술대회 논문집
발행연도
2008.6
수록면
89 - 90 (2page)

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Development of electron beam lithography needs to analyze of the electric field characteristics of the column lens. For analyzing the electric lens characteristics, it needs to measure the magnetic field distribution. It is needed to measure many points with high precision. Those reasons make us develop 3D magnetic field measuring system. Gauss-meter is installed on the end of y-axis of the developed system then it moves along X, Y, and Z axis and the Gauss-meter measures magnetic force at each position. The developed system is desig ... 전체 초록 보기
#Electric lens(자계 렌즈) #Column lens(칼럼 렌즈) #Magnetic field(자력계) #Magnetic gradient(자력 구배)

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