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학술대회자료
저자정보
이기정 (아주대학교) 양상식
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 마이크로/나노공학부문 춘계학술대회 논문집
발행연도
2009.5
수록면
304 - 305 (2page)

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In this paper, a proper micro fluidic pressure regulator is fabricated using micro machining technology. The pressure regulator consists of a reference pressure chamber, a silicon membrane and a passive valve. When the output pressure drops below a certain pressure by the discharge, the passive valve is opened by the membrane deflection due to the difference between the output press ... 전체 초록 보기
#pressure regulator(압력조정기) #passive(수동방식)

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