지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
Abstract
1. 서론
2. 제작 공정 및 기초 실험 결과
3. 빗모양 구동기의 설계
4. 빗모양 구동기의 제작 결과
5. 결론
감사의 글
참고문헌
저자소개
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
Novel K/Ka Bandpass Filters using LIGA Micromachined Process
한국전자파학회논문지
2000 .09
SU-8 Mold Fabrication with Low Internal Stress and High Aspect Ratio for UV LIGA Process
전기학회논문지 C
1999 .08
기판미세가공 및 LIGA 공정을 이용한 초소형 열유체 소자
대한기계학회 춘추학술대회
2002 .02
표면 미세가공기술을 이용한 마이크로 광학소자 및 구동기의 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .11
Silicon Micromachining
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
X-선 사진 식각 공정(LIGA)의 현황 및 전망
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .07
나노입자 및 미세가공기술 응용
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2003 .03
LIGA 공정을 이용한 삼면반사체 제작
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .08
LIGA 공정을 이용한 삼면반사체의 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1999 .05
LIGA 공정을 이용한 Cu전극의 방전가공 특성 분석
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2007 .05
A New Micromachining Technology Using ( 111 ) Silicon
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
테마기획1 : LIGA 기술
대한기계학회지
1997 .12
LIGA-like 공정을 이용한 마이크로 금 구조물의 제작과 균일성 측정
전기학회논문지
1998 .10
LIGA-Like 공정으로 제작된 마이크로 금 구조물의 균일성 측정 ( Measurement of the Uniformity of the Fabricated Micro Gold Structure using LIGA-Like Process )
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
표면미세가공기술을 이용한 수평감지방식의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계의 설계, 제작 및 가공 오차 영향 분석 ( Design, Fabrication and Micromachining Error Evaluation for a Surface-Micromachined Polysilicon Capacitice Accelerometer )
대한기계학회 논문집 A권
2001 .03
다공질 실리콘 식각법을 이용한 실리콘 미세가공기술 ( Silicon Micromachining Technique Using Porous Silicon Etching Method )
전자공학회논문지-A
1994 .11
첨단레이저 응용 미세제거가공기술
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2006 .01
Filtering을 이용한 LIGA 구조물의 quality 향상 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1999 .11
변형된 LIGA 공정을 이용한 마이크로렌즈 제작방법
대한기계학회 논문집 A권
2002 .11
표면 및 몸체 미세 가공 기술로 제작된 대기압에서 동작하는 전자력 검출형 각속도계의 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .07
0