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대한전기학회 전기의세계 電氣學會誌 第42卷 第10號
발행연도
1993.10
수록면
37 - 42 (6page)

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목차

1. 머리말
2. 기판 마이크로가공(bulk micromachining)
3. 표면 마이크로가공(surface micromachining)
4. 마이크로 전기도금
5. 응용기술예
6. 맺음말
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