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대한전기학회 전기의세계 電氣學會誌 第42卷 第10號
발행연도
1993.10
수록면
43 - 49 (7page)

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목차

1. 서론
2. 플라즈마 에칭의 기본 원리
3. 에칭 특성과 플라즈마 리액터
4. Helicon Wave 플라즈마 리액터와 식각성능
5. 결론

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