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1. 머릿말
2. 平面 集積 인덕터 素子(Planar Integrated Inductive Component)
3. 電磁力 구동 마이크로 액츄에이터 ?究 動向
4. 맺음말
참고문헌
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솔레노이드 엑츄에이터 電磁氣 시스템의 有限要素 解析
전기학회논문지
1991 .11
[신기술 소개] 건축물의 전자(電磁)환경
설비저널
2000 .07
기포를 이용한 마이크로 액츄에이터 개발
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2003 .10
폴리실리콘 마이크로 액츄에이터의 열구동 특성분석
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
2자유도 구동 엑츄에이터의 동특성 해석
대한전기학회 학술대회 논문집
2012 .07
열구동형 폴리실리콘 마이크로 액츄에이터의 제작 및 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1996 .06
회전구동형 마이크로액츄에이터 전극의 최적형상
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .11
압전 세라믹 엑츄에이터의 응용; 모바일 폰 카메라용 엑츄에이터 및 초음파 모터
기계와 재료
2006 .01
커패시터로 구동되는 유도형 전자(電磁) 가속장치의 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .07
가동 자석형 3 축 구동 엑츄에이터
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2007 .11
열구동형 폴리실리콘 마이크로 액츄에이터의 제작 및 특성분석
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1997 .12
추가된 수직전극을 구비한 저전압 구동의 광 스위칭용 정전구동 마이크로 액츄에이터
전기학회논문지 C
2003 .01
PVDF전극 패턴최적화를 통한 센서/액츄에이터 설계기술 및 그 이용
한국소음진동공학회 세미나자료집
2002 .11
자기왜형 물질을 이용한 액츄에이터의 설계 및 특성해석
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .07
초음파 전동기와 압전 세라믹 엑츄에이터
전자공학회지
1998 .07
은나노선 전극을 이용한 전기발광 폴리머 엑츄에이터
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .05
가변 스텝 마이크로 액츄에이터의 설계 및 구동특성
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1995 .07
형상기억합금을 이용한 액츄에이터 개발
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .11
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