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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 실험 결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
참고문헌
저자소개
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화학 기계적 연마 시 패드 단면형상에 따른 연마특성 평가
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2004 .05
GMP 공정에서의 유동 해석 및 웨이퍼 연마율에 대한 영향 고찰
대한기계학회 춘추학술대회
2013 .05
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2012 .06
화학기계적 연마에서 컨디셔닝 시스템에 따른 연마 패드 프로파일해석 및 실험적 검증
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2020 .09
CMP공정에서 연마결과에 영향을 미치는 패드 물성치에 관한 연구
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2000 .03
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한국트라이볼로지학회 학술대회
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3중 존 컨디셔너의 연마패드 해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2020 .09
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2004 .05
희석된 혼합연마 슬러리의 연마특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .05
화학기계적 연마에서 컨디셔너 직경에 따른 연마패드 마모 해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
PIV를 이용한 Chemical Mechanical Polishing 공정 중의 연마용액 유동흐름 측정
한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집
2004 .11
온도에 따른 연마패드의 동적탄성계수의 변화가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
알루미늄 박막의 화학기계적연마 가공에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2002 .02
패드의 점탄성 거동이 마이크로 패턴 CMP 연마 특성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .10
화학기계연마에 있어 패턴 밀도, 크기 및 단차에 따른 슬러리 효과
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
Characterization of CMP Process at Single Contact Point of Pad Micro-Asperity
한국트라이볼로지학회 학술대회
2020 .09
CMP 연마패드 형상 제어 및 실험적 검증
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
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