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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
成萬永 朴永鎭 (단국대학교)
저널정보
대한전기학회 전기의세계 電氣學會誌 第35卷 第8號
발행연도
1986.8
수록면
5 - 14 (10page)

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목차

1. 序論
2. 集積回路에 적합한 Silicide
3. 실리사이드膜의 形成方法
4. 실리사이드膜의 構造
5. 熱處理에 의한 組成變化
6. 실리사이드膜에 있어서 인(P)의 도핑

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