Micromachined ZnO Piezoelectric Pressure Sensor and Pyroelectric Infrared Detector in GaAs

Jun Rim Choi; Ryung Choi

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자료유형: 학술저널

저자정보: Jun Rim Choi Ryung Choi

저널정보: 대한전기학회 Journal of Electrical Engineering and information Science Journal of Electical Engineering and information Science Vol.3 No.2

발행연도: 1998.4

수록면: 239 - 244 (6page)

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