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A surface micro machined angular rate sensor utilizing a vibrating MEMS structure on a silicon has been developed. These tuning fork angular rate sensor,s are extremely rugged, inherently balanced, and easy to fabricate. The device is fabricated using a temperature compensation method based on automatic gain control technique. A linearity of approximately 0.6%, limited by the on-chip electronics has been obtained with this new sensor. Tests of the sensor demonstrate that its performance is equivalent to that required for implementation of a yaw control system. Vehicle handling and safety are substantially improved using the sensor to implement yaw control.
목차
Abstract
1. 서론
2. 센서 제작 공정
3. 온도 특성 향상 방안
4. 결과 및 고찰
5. 결론
감사의 글
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저자소개
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1. [학술지(정기간행물)] - / 2003 / New Generation of Sensor Cluster for ESP and Future Vehicle Stabilizing Systems in Automotive Applications
2. [학술지(정기간행물)] - / 1994 / Slide film damping in laterally driven microstructures
3. [학술지(정기간행물)] - / / Surface- micromaching of Resonant Silicon Structure : 519 50 ~ 95
4. [학술지(정기간행물)] - / 1995 / Yaw Rate Sensor for Vehicle Dynamics Control Systems
2. [학술지(정기간행물)] - / 1994 / Slide film damping in laterally driven microstructures
3. [학술지(정기간행물)] - / / Surface- micromaching of Resonant Silicon Structure : 519 50 ~ 95
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