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EP와 MR Polishing 복합공정을 이용한 의료용합금의 초정밀 연마
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .05
실리콘 웨이퍼 폴리싱 공정에서 자연 산화막에 의한 마찰의 변화
한국트라이볼로지학회 학술대회
2010 .06
MR Polishing 공정을 이용한 비구면 렌즈 소재의 기초 연마 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .05
패턴 밀도를 고려한 Chemical Mechanical Polishing에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2002 .06
유리소재의 형상수정 가공을 위한 연마특성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2001 .05
LCD Glass Polishing Machine의 상정반 개발에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2014 .11
LCD Glass Polishing Machine의 가공특성에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2015 .04
MR 유체의 폴리싱 특성 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2010 .11
3중 존 컨디셔너의 연마패드 해석
한국트라이볼로지학회 학술대회
2020 .09
CMP공정에서 연마결과에 영향을 미치는 패드 물성치에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .03
연마 공정 및 표면 계측의 하이브리드 시스템 설계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
Free Programmable Polishing Robot System
대한전자공학회 학술대회
1991 .01
FREE PROGRAMMABLE POLISHING ROBOT SYSTEM
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1991 .10
레이저를 이용한 금형 폴리싱의 동향
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2011 .10
MR Jet Polishing에서 가속도계 센서를 이용한 공정모니터링에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .06
모재의 온도에 따른 레이저 폴리싱의 해석적 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2014 .09
Chemical Mechanical Polishing 공정기술 및 장비동향
전자공학회지
2013 .12
액중 부상 방식에 의한 유리볼의 초정밀 연마 기구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2000 .05
2세대 자기연마를 이용한 미세 그루브형상 표면가공에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2011 .06
화학기계적 연마에서 컨디셔닝 시스템에 따른 연마 패드 프로파일해석 및 실험적 검증
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
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