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이용수
Abstract
1. Introduction
2. Experimental Details
3. Experimental Results
4. Discussion and Conclusion
REFERENCES
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LPCVD System
대한전자공학회 단기강좌
1983 .01
LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )
특정연구 결과 발표회 논문집
1988 .01
LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )
한국통신학회 학술대회논문집
1988 .01
LPCVD 공정중 웨이퍼의 온도장 해석 ( An Analysis of Temperature Field of Wafers in LPCVD Process )
대한기계학회 춘추학술대회
1997 .01
LPCVD 공정중 웨이퍼의 온도장 해석 ( Thermal Analysis of the Wafers in LPCVD Process )
대한기계학회 논문집 B권
1998 .05
램프 가열 방식 LPCVD 장비의 설계 및 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .11
증착온도가 LPCVD 실리콘 박막의 물성과 전기적 특성에 미치는 영향
전기학회논문지
1992 .07
LPCVD-Si3N4 박막의 열 산화 ( Thermal Oxidation of Thin LPCVD-Si3N4 Film )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
저온제작 LPCVD 다결정 실리콘 박막트랜지스터의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of LPCVD Poly Silicon Thin Film Transistors Fabricated at Low Temperature )
전자공학회논문지-A
1992 .06
LPCVD 및 PECVD 시스템
전자공학회잡지
1983 .10
Reaction kinetics of tin oxide films prepared by LPCVD
한국에너지학회 학술발표회
2014 .04
LPCVD법으로 제작한 이산화 실리콘 막의 전기적 특성 ( The Electrical Properties of Silicon Dioxide Film Fabricated with LPCVD )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
마이크로파를 이용한 LPCVD a-Si의 저온 결정화 및 TFT에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
Off-Current Mechanism of LPCVD Poly-Si Thin Film Transistors Fabricated at Low Temperature
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
LPCVD 방법에 의한 고신뢰성 다결정 실리콘박막의 증착 ( High Reliable Polysilicon Film Deposited by LPCVD )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
Si₂B₆를 이용한 LPCVD실리콘 박막의 결정 성장 및 구조적 성질에 관한 연구
전기학회논문지
1991 .07
전하보유모델에 기초한 SONOS 플래시 메모리의 전하 저장층 두께에 따른 트랩 분석
반도체디스플레이기술학회지
2019 .01
LPCVD 텅스텐 박막에 관한 고찰
[ETRI] 전자통신동향분석
1987 .12
초음속 노즐을 이용한 LPCVD 챔버 내부 유동 분석
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
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