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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
[참고문헌]
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통계적 실험 방법에 의한 Ta 및 TaN 박막의 증착 특성
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
유도 결합 플라즈마를 이용한 TaN 박막의 건식 식각 특성
전기전자재료학회논문지
2013 .01
VLF tanδ의 판정기준에 대한 통계적 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2012 .07
$TaN_x$ 박막의 Cu 확산방지특성
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
유도 결합 플라즈마를 이용한 TaN 박막의 건식 식각 특성 연구
한국표면공학회지
2009 .12
The Dry Etching Properties of TaN Thin Film Using Inductively Coupled Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2012 .01
BCl3/Ar 유도결합 플라즈마 안에 CH4 가스 첨가에 따른 건식 식각된 TaN 박막 표면의 연구
전기전자재료학회논문지
2013 .01
ICP 스퍼터링으로 제조한 초경 TaN 박막에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .11
MOCVD TaN 증착기구에 대한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
ALD법을 이용해 증착된 TaN 박막이 Cu 확산방지 특성
센서학회지
2004 .01
Al-Al2O3-Al 박막구조의 전기적 특성
대한전자공학회 심포지엄 논문집
1978 .01
Al-Al2O3-Al 박막구조의 전기적 특성
대한전자공학회 학술대회
1978 .01
가속열화를 이용한 OF 모델 케이블의 열화 및 tan δ 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2015 .11
TaN Barrier에서 Cu 박막 Reflow 특성
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
Ta/TaN 복합 다층 피막의 기계적 특성
한국재료학회지
1999 .01
VLF Tanδ 측정의 통계적 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2013 .04
A Study on the Microstructure of P / TaN / Si Films by High Resolution TEM Analysis
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
DSP를 이용한 주상변압기 tan δ 측정기법 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .11
DSP를 이용한 주상변압기 Tan δ 측정기법 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .11
유역 식별을 통한 연간 탄천 수질의 공간적 변화 연구
환경분석과 독성보건
2008 .01
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