메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국정보기술학회 한국정보기술학회논문지 한국정보기술학회논문지 제8권 제1호
발행연도
2010.1
수록면
49 - 57 (9page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
반도체 레이아웃 에디터를 이용한 설계는 설계자가 웨이퍼 평면상에 설계 객체들을 배치하는 방식으로 진행된다. 본 논문에서는 주어진 레이아웃 데이터에 대해서 웨이퍼의 수직 방향으로 단면을 보여주는 방법을 제안한다. 레이아웃 설계의 단면보기는 설계상 문제점을 제조 공정 전에 미리 검출할 수 있도록 도움을 준다. 우리가 조사한 바에 따르면, 반도체 레이아웃의 단면보기 방법에 관한 기존 연구는 거의 발표되지 않았다. 또한, 본 방법은 타 상용시스템들이 제공하지 않은 부분 단면보기 기능을 지원함으로써, 회로의 일부에 대한 단면보기 시 타 시스템들에 비해 수행 시간을 현저히 줄일 수 있다. 본 단면보기 방법은 현재 국산 상용 레이아웃설계 툴에 채택되어 있고, 웨이퍼 내의 설계 결함을 파악할 수 있다는 점과 전체 회로 중 사용자가 원하는 일부에 대해서만 단면보기를 빠른 시간 내에 수행할 수 있다는 점에서 사용자의 만족도가 높은 편이다.
#Layout #Cross Section View #Fabrication Process #Semiconductor

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 문제 모델링
Ⅲ 단면보기 알고리즘
Ⅳ. 구현 및 실험
Ⅴ. 결론
참고문헌
저자소개

참고문헌 (7)

참고문헌 신청
1. [인터넷자원] - João D. Togni / / WEB-Based Automatic Layout Generation Tool with Visualization Features google schola 2. [인터넷자원] - L-Edit Pro / / Tanner Research google schola 3. [인터넷자원] - Expert Layout Editor / / SIMUCAD Design Automation google schola 4. [단행본] - 류장렬 / 2008 / 반도체소자공학 / 형설출판사 : 165 ~ 190 google schola 5. [인터넷자원] - ㈜셀로코 / / MyChip Station Pro 2009 google schola

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

반도체 레이아웃의 자동이식과 수율 향상을 위한 자동화 시스템의 관한 연구
김용배 ,  신만철 ,  김준영 외 1명 한국정보과학회 학술발표논문집 2001 .04

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2010-566-001930478