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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2007 대한전기학회 전기물성·응용부문회 Techno-Fair 및 추계학술대회 논문집
발행연도
2007.11
수록면
152 - 153 (2page)

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This paper describes a resonant driving piezoelectric micro cantilever practicable to ultrasound thrombolysis device for the treatment of ischemic stroke. The proposed piezoelectric cantilever was designed to be a unimorph structure of Si/SiO₂/Ti/Pt/PZT/Pt, and fabricated by top-down sequence etching process. Th ... 전체 초록 보기

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