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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 1989年度 秋季綜合學術大會 論文集
발행연도
1989.11
수록면
335 - 337 (3page)

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목차

Abstract
1. 서론
2. 실험장치
3. HCD의 I-V 특성
4. HCD gun과 Ti pool의 방사온도
5. 플라즈마 진단
6. TiN 박막의 우선방위
7. TiN 박막의 미소경도
8. 결론
9. 참고 문헌

참고문헌 (0)

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