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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 대한전기학회 제37회 하계학술대회 논문집 B
발행연도
2006.7
수록면
657 - 658 (2page)

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2006

7㎜폭의 Micro Valve 자장 및 유동특성 고찰
전용식 ,  김동수 ,  임기조 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2006.10 학술대회자료
7㎜폭의 Micro Valve 자장 및 유동특성 고찰
전용식 ,  김동수 ,  신동윤 대한전기학회 학술대회 논문집 2006.07 학술대회자료

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Recently, the micro on-off valves have been focused on core technology in the fields of the production line of semi -conductor chips and the micro fluid chips for bio-medical applications. A key characteristics for micro valve, operated by compressed air, are high speed response and great repeatability. Indeed, it is also important to keep the pressure on the cross-sectional area of the poppet to be constant regardless of the fluctuation of the pressure exerted on the ports. In this study, ... 전체 초록 보기

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