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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2003.11
- 수록면
- 368 - 376 (9page)
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In this research, DLC thin films are produced as several hundred nm thickness by PE-CVD method. And then these thin films are estimated tribological characteristics to find out useful possibilities as a protecting film for high-quality function and life extension at MEMs by mechanical properties observation, These are measured thickness and residual stress of DLC coating. Compared after measuring friction coefficient, adhesion force, hardness, cohesive force of coating films. As results all test, we can decide several conclusions. First, friction coefficient decreased, as the load increased. otherwise, friction coefficient increased, as thickness of coating film increased under low load(1~50mN). Secod, adhesion force increased as thickness of coating films. Third, hardness of coating film is affected by substrate coating film when it is less than thickness of 300㎚ and it has general hardness of DLC coating film when it is more than thickness of 500㎚. Fourth, cohesive force of coating film is complexly affected by hardness, adhesion force, residual stress, etc.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 실험결과 및 고찰
4. 고찰
5. 결론
참고문헌
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