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진주영 (서울대학교) 박재형 (단국대학교) 유병욱 (서울대학교) 김용권 (서울대학교)
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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2009 대한전기학회 전기물성.응용부문회 Techno-Fair 및 추계학술대회 논문집
발행연도
2009.11
수록면
71 - 72 (2page)

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This paper presents the optimum design method of the vertical comb actuator for the micrornirror. We establish an analytical model of the actuator operation, and then extract variables influencing a resonant frequency and a maximum tilt angle. Among variables, a distance R₁ between a rotation axis and a movable comb tip is revealed to be a dominant factor for the large tilt angle with ... 전체 초록 보기

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