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유은실 (엔아이디에스) 오두환 (전자부품연구원) 황우진 (전자부품연구원) 신규식 (전자부품연구원) 박정호 (고려대학교) 이대성 (전자부품연구원) 최용선 (엔아이디에스)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2009 대한전기학회 전기물성.응용부문회 Techno-Fair 및 추계학술대회 논문집
발행연도
2009.11
수록면
87 - 88 (2page)

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기상관측 분야에서는 풍속센서의 소형화 요구가 커지고 있어 air flow sensor를 이용한 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 풍향풍속센서의 응용연구가 활발하다. MEMS 풍향풍속센서는 바람의 세기와 함께 방향을 측정하여야 하는데, 센서 칩이 외부환경에 노출되어 있기 때문에 센서소자의 내오염성과 내구성 확보가 중요하다. 따라서 본 연구에서는 thermopile 방식의 풍향풍속센서 ... 전체 초록 보기

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