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기현철 (한국광기술원) 김선훈 (한국광기술원) 김회종 (한국광기술원) 김상기 (링크라인아이엔씨) 최용성 (전력산업인력양성사업단) 홍경진 (광주대학교)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 P 전기학회논문지 제58P권 제4호
발행연도
2009.12
수록면
615 - 618 (4page)

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In order to apply for transparent conductive oxide(TCO), we deposited ZnO thin film on the glass at room temperature by RF magnetron sputtering method. Deposition conditions for low resistivity were optimized in our previous studies. Under the deposition condition with the RF power of 800 [W]. Sheet resistance and surface roughness of ITO and ZnO thin film were measured by Hall-effect measurement system and AFM, respectively. The sheet resistance of ITO and ZnO thin film were 7.290 [Ω] and 4.882 [Ω], respectively. and surface roughness were 3.634 [㎚] and 0.491 [㎚], respectively. Green OLED was fabricated with the structure of TPD(400 [Å])/Alq3(600 [Å])/LiF(5 [Å])/Al(1200 [Å]). Turn-on voltage of green OLED applied ITO was 7 [V] and luminance was 7,371 [㏅/㎡]. And, Turn-on voltage of green OLED applied ZnO was 14 [V] and luminance was 6,332 [㏅/㎡].
#Transparent Conductive Oxide #Green OLED #ZnO Thin Film

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
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1. [학술지(정기간행물)] - 전훈하 / 2007 / Zinc Oxide와 갈륨이 도핑 된 Zinc Oxide를 이용하여 Radio Frequency Magnetron Sputtering 방법에 의해 상온에서 제작된 박막 트랜지스터의 특성 평가 / 한국진공학회지 16 (5) : 359 ~ 365 dbpia 2. [학술지(정기간행물)] - S.H.Jeong / 2004 / The insert of zinc oxide thin film in indium tin oxide anodefor organic electroluminescence devices / Current Applied Physics 4 (6) : 655 ~ 658 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - X. Jiang / 2003 / Aluminum-doped zinc oxide films as transparent conductive electrode for organic light-emitting devices / Appl. Phys. Lett. 83 : 1875 ~ 1877 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - 임종민 / 2004 / ZnO ALE를 위한 Si, sapphire기판의 ECR 플라즈마 전처리 / 한국재료학회지 14 (5) : 363 ~ 367 dbpia 5. [학술지(정기간행물)] - J. F. Chang / 2000 / X-ray photoelectron spectroscopy investigation of substrate surface pretreatments for diamond nucleation by microwave plasma chemical vapor deposition / J. Crystal Growth 211 : 211 ~ 215 google schola

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