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팽성환 (경성대학교) 곽동주 (경성대학교) 성열문 (경성대학교) 이돈규 (동의대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2009 대한전기학회 제40회 하계학술대회
발행연도
2009.7
수록면
1,485 - 1,486 (2page)

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Transparent conductive metal oxide films of In<SUB>2-x</SUB>Ti<SUB>x</SUB>O₃ (ITiO) and In<SUB>2-x</SUB>Sn<SUB>x</SUB>O₃ (ITO) were deposited by RF magnetron sputtering at relatively low substrate temperature (~300℃) and at high rate (~10㎚/min). Electrical and optical properties of the films were investigated as well as film structure and morphology, as it is compared with the com ... 전체 초록 보기

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