펨토초 레이저 응용 정밀 가공

조성학; 박정규; 김재구; 장원석; 최두선; 황경현

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저자정보: 조성학 (한국기계연구원) 박정규 (한국기계연구원) 김재구 (한국기계연구원) 장원석 (한국기계연구원) 최두선 (한국기계연구원) 황경현 (한국기계연구원)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.27 No.6

발행연도: 2010.6

수록면: 17 - 23 (7page)

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Recent research topics of ultra-precision micro, nano machining using femtosecond lasers are described in the paper.

#Ultra Precision Micromachining (초정밀 미세 가공) #Femtosecond Laser (펨토초 레이저)

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