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정광석 (충주대학교) 심기본 (충주대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.27 No.6
발행연도
2010.6
수록면
39 - 46 (8page)

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Linear induction motor is adopted as an actuator of the planar stage. An inherently poor characteristic at zero or ultra-low speed zone of the induction motor is remarkably improved due to a recent development of power electronic semiconductor technology and a spatial vector control theory. At present, a servo response speed of the induction motor reaches 90 percent of one of PM synchronous or BLDC motor. Specially, as a secondary of the induction motor can be constructed using uniform conducting sheets, there is no periodic force ripple as in PM motors. So, the induction motor can be superior to another driving means under a certain condition. This paper discusses the overall development procedure of non-contact planar stage with a big workspace using linear induction motors.
#Air Bearing Stage (공기 베어링 스테이지) #Linear Induction Motor (선형 유도 모터) #Magnetic Circuit (자기회로) #Nano Step Test (나노 계단 시험) #Vector Control (벡터 제어)

목차

1. Introduction
2. Overall layout of the planar stage
3. Driving methodology of the planar stage
4. Performance test
5. Conclusion
후기
참고문헌

참고문헌 (2)

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정광석, 박준규, 김효준. 인덕션 방식을 이용한 평면 스테이지의 동특성 개선. 제어로봇시스템학회 논문지. 2009 dbpia 정광석, 백윤수. 공극력의 능동적 보상을 통한 횡자속 선형 유도 구동기의 추력과 부상력의 비연성화. Journal of the Korean Society for Precision Engineering. 2004 dbpia

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