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장로마 (한국과학기술원) 김재완 (한국표준과학연구원) 김종안 (한국표준과학연구원) 강주식 (한국표준과학연구원) 김재은 (한국과학기술원) 박해용 (한국과학기술원)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2010년도 춘계학술대회 논문집(하)
발행연도
2010.5
수록면
815 - 816 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

두 파장 고속 위상천이간섭계를 이용한 단차 측정
장로마 ,  김재완 ,  김종안 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2010.05 학술대회자료

2008

위상천이간섭계를 위한 다채널 주파수 스캐닝 레이저
장로마 ,  김재완 ,  김종안 외 4명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.06 학술대회자료

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#Phase shifting interferometry

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편광을 이용한 동시위상천이 간섭계의 광학계 정렬에 따른 위상천이 오차 분석
이동원 ,  김재완 ,  한재원 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2012 .10

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