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피성훈 (고려대학교) 박병호 (고려대학교) 장유진 (고려대학교) 김강현 (고려대학교) 안승언 (고려대학교) 강병현 (고려대학교) 김규태 (고려대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2003년도 생산 및 설계공학 부문 추계학술대회 논문집
발행연도
2003.11
수록면
9 - 12 (4page)

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핸드폰에 장착된 반투과형 LCD (Liquid Crystal Display) 패널에서 반사판을 제거하면 투과형 LCD 마스크로 이용할 수 있다. LCD 패널의 광 흡수 실험에서 얻은 스펙트럼을 참고하여 다양한 파장대의 광원으로 리소그래피 하였다. 컴퓨터 이미지 프로그램으로 편집한 그림이나 문자를 핸드폰 전용 통신 케이블을 통하여 LCD 패널로 전송하여, 다양한 모양의 패턴을 기판위에 전사하는데 성공하였다. 픽셀간의 경계가 현상되어 끊어지는 패턴이 형성되는 LCD 마스크의 단점을 극복하여 연속적인 패턴결과를 얻는데도 성공하였다. 이로부터 프로젝션 리소그래피에 응용하여 축소 전사된 패턴으로 전기도금을 통해 니켈몰드를 제작하였다.
#실시간 리소그래피 #LCD(Liquid Crystal Display) 패널 #투과형 LCD #프로젝션 리소그래피

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
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