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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2010.6
- 수록면
- 286 - 287 (2page)
이용수
초록· 키워드
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본 연구에서는 안압 조절을 위한 마이크로 체크밸브를 설계하고 제작하였다. 체크밸브는 얇은 막과 마이크로 채널로 구성되어 있으며, 밸브 오리피스의 직경, 막의 두께, 밸브 오리피스와 밸브 안착의 겹치는 길이를 구하기 위해 FEA 해석을 하였다. 또한 밸브의 신뢰성이 있는 작동과 생산 수율을 높이기 위해 새 ... 전체 초록 보기
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