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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
홍연기 (기가비스) 김경범 (충주대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2010년도 동역학 및 제어부문 춘계학술대회 논문집
발행연도
2010.6
수록면
356 - 363 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2011

레이저산란패턴 기반 나노 래핑 표면 거칠기의 실험적 모델링 및 추정에 관한 연구
홍연기 ,  김경범 대한기계학회 논문집 A권 2011.01 학술저널

2010

나노 래핑 표면의 형상과 레이저산란 패턴과의 실험적 모델링에 관한 연구
홍연기 ,  김경범 ,  연정승 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2010.11 학술대회자료
레이저산란패턴 기반 나노 래핑 표면 거칠기의 실험적 모델링 및 추정에 관한 연구
홍연기 ,  김경범 대한기계학회 춘추학술대회 2010.06 학술대회자료

초록· 키워드

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본 논문에서는 나노 래핑 표면의 형상과 레이저산란 패턴 사이의 실험적 모델링에 관한 연구를 하였다. 우선, 반사표면에서 나타나는 산란광 속성들을 고찰하여 암시야 기반의 레이저산란 검사 메커니즘을 구성하였다. 이 메커니즘을 이용한 레이저산란 패턴 분석의 경우, 나노 래핑 표면 형상으로부터 산란된 레이저산란 성분은 불규칙하게 사선형태로 교차됨을 알 수 있다. 또한, 실험 계획법을 기반으로 도출된 매개변수로 적용된 최적의 레이저산란 영상에서 나노 래핑 표면 거칠기와 레이저산란 성분 사이의 상관관계를 회귀분석법을 이용하여 수학적 모델링을 시도 하였다. 이 모델의 검증을 위해 나노 래핑 표면 3 종류의 거칠기에 대해 50 번의 반복실험을 수행한 결과, 제시된 수학적 모델은 실제 거칠기 값에 근접하게 추정할 수 있음을 보였다.
#Laser Scattering(레이저산란) #Nano Lapping Surface(나노 래핑 표면) #Surface Roughness(표면 거칠기)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 암시야 레이저 산란시스템
3. 나노 래핑 표면의 패턴분석
4. 레이저산란 매개변수 선정
5. 나노 래핑 표면과 레이저산란 패턴과의 상관관계
6. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (2)

참고문헌 신청
한재철, 김경범. 실험계획법을 이용한 레이저 산란의 최적 조건 결정에 대한 연구. Journal of the Korean Society for Precision Engineering. 2009 dbpia 홍연기, 김경범. 레이저 산란 영상을 이용한 표면거칠기의 실험적 규명에 관한 연구. 대한기계학회 논문집 A권. 2010 dbpia

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