Effects of oxide layer formed on TiN coated silicon wafer on the friction characteristics

C. W. CHO; Y. Z. LEE

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: C. W. CHO (성균관대학교) Y. Z. LEE (성균관대학교)

저널정보: 한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 한국윤활학회 2002년도 Proceedings of The Second Asia International Conference on Tribology

발행연도: 2002.10

수록면: 167 - 168 (2page)

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2002

Friction transition diagram considering the effects of oxide layer formed on contact parts of TiN coated steel ball

C. W. CHO , J. S. LIM , Y. Z. LEE 한국트라이볼로지학회 학술대회 2002.10 학술대회자료

Effects of oxide layer formed on TiN coated silicon wafer on the friction characteristics

C. W. CHO , Y. Z. LEE 한국트라이볼로지학회 학술대회 2002.10 학술대회자료

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In this study, the effects of oxide layer formed on the wear tracks of TiN coated silicon wafer on friction characteristics were investigated. Silicon wafer was used for the substrate of coated disk specimens, which were prepared by depositing TiN coating with 1㎛ in coating thickness. AISI 52100 steel balls were used for t ... 전체 초록 보기

#Oxide layer #TiN coated silicon wafer #X-ray Diffraction analysis #FFM #Frictional force image

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