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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김기현 (특허청) 이문구 (아주대학교)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회지 Vol.19 No.4
발행연도
2010.8
수록면
553 - 561 (9page)

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In flat panel display or semiconductor industries, they install the equipments with fine line width and high throughput for fabrication and inspection. The equipments are required to have the linear stage which can position the work-piece with high speed, fine resolution on wide range of motion. in this paper, a precision planar linear XY stage is proposed. The stage has a symmetric planar window configuration and is guided by air-bearings on granite plate. The symmetric planar window configuration makes the stage has robustness against dynamic and thermal disturbances. The air-bearings let the stage move smooth 011 straight guide bar and flat granite surface. The stage is actuated by linear motor with Halbach magnet array (HMA). HMA generates more confined magnetic flux than conventional array. The linear motors are optimized by using sequential quadratic programming (SQP) with the several constraints that are thermal dissipation, required power, force ripple and so on. The planar linear XY stage with the symmetric planar configuration and the linear motors is implemented and then the performance such as force ripple, resolution and stroke are evaluated.
#Linear motor(선형모터) #Halbach magnet array(할바흐 자석 배열) #Precision stage(정밀 스테이지) #Optimal design

목차

Abstract
1. 서론
2. 평면형 리니어 XY 스테이지의 개념설계
3. HMA 선형모터의 설계
4. 제안된 XY 스테이지의 성능
5. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (2)

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김기현, 권대갑, 최영만, 김동민, 남병욱, 이석원, 이문구. VCM을 이용한 나노 정밀도 스캐닝 용 초정밀 이중 스테이지. Journal of the Korean Society for Precision Engineering. 2005 dbpia 김문수, 오민택, 김정한. VCM을 이용한 노광기용 정밀 레티클 스테이지의 저진동 제어시스템 개발. 한국생산제조학회지. 2008 dbpia

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