탄소나노튜브 필름을 이용한 투명 압저항체의 제작 및 특성 연구

이강원; 이정아; 이광철; 이승섭

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이강원 (한국과학기술원) 이정아 (한국표준과학연구원) 이광철 (한국표준과학연구원) 이승섭 (한국과학기술원)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제34권 제12호

발행연도: 2010.12

수록면: 1,857 - 1,863 (7page)

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본 논문에서는 탄소나노튜브 필름을 이용한 투명 압저항체의 제작 및 특성 연구를 수행하였다. 진공필터 방식으로 제작된 다양한 투과도를 가지는 탄소나노튜브 필름은 금층이 증착된 실리콘 기판위에서 사진식각 공정을 통해 패터닝이 된 후, 금층과 실리콘 기판의 약한 접착력으로 인해 실리콘 러버인 poly-dimethysiloxane (PDMS) 로 전사된다. 탄소나노튜브 필름의 압저항 특성을 분석하기 위해, 얇은 PDMS 멤브레인의 처짐에 대한 탄소나노튜브 필름의 저항 변화를 측정하여 10?20 의 개이지 팩터를 얻었으며, 인가 압력에 대한 저항 변화 실험을 수행하였다. 본 실험을 통하여 탄소나노튜브 필름은 폴리머 멤스의 다양한 응용분야에 투명한 압저항체로 사용될 수 있을 것으로 판단한다.

#Carbon Nanotube Film(탄소나노튜브 필름) #Transparent Piezoresistors(투명 압저항체) #Wafer Transfer Methods(기판 전사 방법)

참고문헌 (14)

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1. [학술지(정기간행물)] - Stampfer, C / 2006 / Fabrication of Single-Walled Carbon Nanotube Based Pressure Sensors / Nano Lett. 6 (2) : 233 ~ 237

2. [학술대회논문] - Fung, K. M / 2005 / A PMMA Based Micro Pressure Sensor Chip Using Carbon Nanotubes as Sensing Elements / Proc. of 18th IEEE Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2005) : 251 ~ 254

3. [학술대회논문] - Tong, J / 2007 / Carbon Nanotube Based Strain Sensing Cantilevers / Proc. of 20th IEEE Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2007) : 843 ~ 846

4. [학술지(정기간행물)] - Gao, B / 2001 / Fabrication and Electron Field Emission Properties of Carbon Nanotube Films by Electrophoretic Deposition / Adv. Mater 13 (23) : 1770 ~ 1773

5. [학술지(정기간행물)] - Sreekumar, T / 2003 / Single-Wall Carbon Nanotube Films / Chem. Matt 15 (1) : 175 ~ 178

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