이온빔으로 제조된 다이아몬드상 탄소 박막의 조도에 미치는 Si Interlayer의 영향

정재인; 양지훈; 박영희

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정재인 (포항산업과학연구원) 양지훈 (포항산업과학연구원) 박영희 (포항산업과학연구원)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제34회 동계정기학술대회 초록집

발행연도: 2008.2

수록면: 339 - 339 (1page)

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