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학술대회자료
저자정보
조태훈 (광운대학교) 윤명수 (광운대학교) 박인규 (광운대학교) 유하진 (광운대학교) 최은하 (광운대학교) 조광섭 (광운대학교) 권기청 (광운대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제39회 하계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.8
수록면
136 - 136 (1page)

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2012

유도결합플라즈마 장비에서 Pulse Modulation Plasma의 전자온도와 플라즈마밀도 컨트롤에 관한 연구
조태훈 ,  윤명수 ,  손찬희 외 5명 한국진공학회 학술발표회초록집 2012.02 학술대회자료

2011

유도결합플라즈마 식각 장비에서 안테나와 웨이퍼간 거리 차에 따른 플라즈마 변화 연구
조태훈 ,  윤명수 ,  손찬희 외 7명 한국진공학회 학술발표회초록집 2011.02 학술대회자료

2010

Spectrum Analyzer를 통한 미세 방전 플라즈마 밀도측정
조태훈 ,  윤명수 ,  박인규 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.08 학술대회자료

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이중 미세공음극 방전을 이용한 기체방전램프의 효율 향상 및 방전 전압 강하
이태일 ,  박기완 ,  황현석 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2006 .08

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