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황순용 (경희대학교) 김태중 (경희대학교) 변준석 (경희대학교) Mangesh S. Diware (경희대학교) David E. Aspnes (경희대학교) 김영동 (경희대학교) 신상훈 (한국과학기술연구원) 송진동 (한국과학기술연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제39회 하계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.8
수록면
225 - 225 (1page)

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