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김대철 (국가핵융합연구소) 김종식 (국가핵융합연구소) 김용현 (국가핵융합연구소) 최성웅 (국가핵융합연구소) 김성봉 (국가핵융합연구소) 오경숙 (국가핵융합연구소) 김영우 (국가핵융합연구소) 이봉주 (국가핵융합연구소) 유석재 (국가핵융합연구소)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제36회 동계학술대회 초록집
발행연도
2009.2
수록면
261 - 261 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

내부 삽입 직선 안테나를 이용한 ICP 플라즈마에서의 균일도 향상 및 불순물 발생 특성 연구
김대철 ,  김종식 ,  이봉주 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.08 학술대회자료
Internal Linear Antenna를 이용한 ICP 플라즈마에서의 균일도 향상을 위한 연구
김대철 ,  김종식 ,  김용현 외 6명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.02 학술대회자료

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내부 삽입 직선 안테나를 이용한 ICP 플라즈마에서의 균일도 향상 및 불순물 발생 특성 연구
김대철 ,  김종식 ,  이봉주 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009 .08
다양한 가스를 이용한 유도 결합 플라즈마에서 E-H mode 전이 현상
이정규 ,  이효창 ,  정진욱 한국진공학회 학술발표회초록집 2010 .02
Ar 가스 압력과 RF 전력변화에 따른 유도결합형 플라즈마 E-H모드 변환의 광학적 특성
許寅盛 ,  趙胄雄 ,  李永煥 외 3명 전기학회논문지 C 2004 .01
유도결합 플라즈마(ICP)의 E - H mode 전이 때 축전전기장과 유도전기장의 분포에 따른 플라즈마 특성비교
이용관 ,  장홍영 한국진공학회 학술발표회초록집 1999 .02

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