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김준동 (한국기계연구원) 한창수 (한국기계연구원) 윤주형 (State University of New York) 이준신 (성균관대학교) 박윤창 (나노팹센터)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.2
수록면
130 - 130 (1page)

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