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학술대회자료
저자정보
이동욱 (한양대학교) 김선필 (한양대학교) 한동석 (한양대학교) 이효준 (한양대학교) 김은규 (한양대학교) 유희욱 (광운대학교) 조원주 (광운대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.2
수록면
139 - 139 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

SiO₂/Si₃N₄/SiO₂ 터널장벽을 갖는 WSi2 나노입자 메모리소자의 전하누설 근원분석
이동욱 ,  이효준 ,  한동석 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.08 학술대회자료
SiO₂/Si₃N₄/SiO₂와 Si₃N₄/SiO₂/Si₃N₄ 터널 장벽을 사용한 금속 실리사이드 나노입자 비휘발성 메모리소자의 열적 안정성에 관한 연구
이동욱 ,  김선필 ,  한동석 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

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