rf-magnetron sputter 증착기술을 이용한 태양전지용 p형 비정질 실리콘 박막의 특성분석

이성현 ,  윤선진 ,  김제하 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

RF - Magnetron Sputtering 법을 이용한 Indium - Tin Oxide 박막의 전기적, 광학적 특성에 관한 연구

김여중 ,  조길호

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

DC magnetron sputtering을 이용하여 증착한 SnO₂ 기반의 박막 트랜지스터의 전기적 및 광학적 특성 비교

김경택 ,  문연건 ,  김웅선 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

RF Magnetron Sputtering법에 의해 증착된 Ni - Zn Ferrite 박막의 물성 연구

공선식 ,  조해석 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .02

RF - magnetron sputtering 방법으로 형성된 RuO₂ 박막의 전기적 특성 분석

도승우 ,  장철영 ,  이용현

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

RF Sputtering으로 증착한 In2O3:C 박막의 구조 전이 연구

김주현 ,  강현철

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

RF Magnteron Sputtering법으로 증착한 ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성

정영의 ,  조창우 ,  박성균

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

RF-Magnetron Sputtering법에 의해 성막된 Ga₂O₃가 혼합된 ZnO박막의 전기적 및 광학적 특성

김미선 ,  배강 ,  손선영 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Ce Target을 사용한 Reactive RF Magnetron Sputtering에 의해 Si(100) 기판 위에 증착된 CeO₂ 박막의 구조적, 전기적 특성

김이준 ,  정동근

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

RF Magnetron Sputtering법으로 제작된 비정질 산화물 반도체 IGZO 박막의 특성

진창현 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

펄스 레이저 증착 방법으로 성장한 InGaZnO4 박막의 물리적 특성 연구

황은상 ,  서유성 ,  박수환 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

RF magnetron sputtering 법으로 제조한 ZnO 박막의 RF 파워에 따른 특성

김종욱 ,  김민석 ,  이인환 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Reactive RF Magnetron Sputtering에 의해 성장된 Si(100)과 Si(111) 기판 위에 증착된 CeO₂ 박막의 구조적, 전기적 특성

김진모 ,  김이준 ,  정동근

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

RF Sputtering 방법으로 증착시킨 ZnO:Ag 박막의 광학적 특성 연구

안병곤 ,  강현철

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

DC/RF Magnetron Co-Sputter를 이용하여 성막한 유기 태양 전지용 Si-Doped In₂O₃ (ISO) 박막의 특성 연구

이혜민 ,  강신비 ,  정권범 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

RF magnetron sputtering에 의해 증착된 SnOx 박막의 전기화학적 특성

손현철 ,  문희수 ,  성상현 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02