Linear facing target sputtering을 이용하여 PET 기판위에 성막한 AZO 박막의 특성 연구

신현수; 정진아; 김한기

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 신현수 (경희대학교) 정진아 (경희대학교) 김한기 (경희대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집

발행연도: 2010.2

수록면: 223 - 223 (1page)

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신현수

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주요연구분야 자연과학 > 물리학

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정진아

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 예술체육학 > 공연매체예술 > 영화

논문수 27 이용수 1,280

김한기

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2012-554-003907171

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	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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