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학술대회자료
저자정보
박형식 (성균관대학교) 장경수 (성균관대학교) 정성욱 (성균관대학교) 김동석 (에스엔텍) 이준신 (성균관대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.2
수록면
313 - 313 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2010

DC Magnetron sputtering의 Al₂O₃ 2wt.% doped ZnO 박막 성장의 DC파워와 온도와의 상관관계에 대한 연구
박형식 ,  장경수 ,  정성욱 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료
박막 태양전지의 전면층 적용을 위한 회전원통형 타겟이 장착된 DC Magnetron sputtering에서 ZnO:Al 박막 성장 조건 최적화에 관한 연구
박형식 ,  이원백 ,  장경수 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료
Al₂O₃ 2wt.%가 도핑된 ZnO의 회전하는 원통형 타겟을 가진 DC pulsed Magnetron sputtering에서의 펄스주파수가 박막에 미치는 영향
박형식 ,  장경수 ,  정성욱 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

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