DC Magnetron sputtering의 Al₂O₃ 2wt.% doped ZnO 박막 성장의 DC파워와 온도와의 상관관계에 대한 연구

박형식; 장경수; 정성욱; 김동석; 이준신

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저자정보: 박형식 (성균관대학교) 장경수 (성균관대학교) 정성욱 (성균관대학교) 김동석 (에스엔텍) 이준신 (성균관대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집

발행연도: 2010.2

수록면: 313 - 313 (1page)

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2010

DC Magnetron sputtering의 Al₂O₃ 2wt.% doped ZnO 박막 성장의 DC파워와 온도와의 상관관계에 대한 연구

박형식 , 장경수 , 정성욱 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

박막 태양전지의 전면층 적용을 위한 회전원통형 타겟이 장착된 DC Magnetron sputtering에서 ZnO:Al 박막 성장 조건 최적화에 관한 연구

박형식 , 이원백 , 장경수 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

Al₂O₃ 2wt.%가 도핑된 ZnO의 회전하는 원통형 타겟을 가진 DC pulsed Magnetron sputtering에서의 펄스주파수가 박막에 미치는 영향

박형식 , 장경수 , 정성욱 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

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