저진공 플라즈마 표면처리에서 시료 온도의 측정

오수기

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 오수기 (아주대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제37회 하계정기학술대회 프로그램집

발행연도: 2009.8

수록면: 51 - 51 (1page)

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