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QMS 신뢰성 평가 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
QMS의 이온소스 신뢰성 평가 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
나의 QMS 사용기 - 8종/20년
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
이온소스 Cathode 형태가 이온 빔에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
QMS를 이용한 플라즈마 공정 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
산업용 기능성 박막 공정을 위한 이온빔 소스 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
가스장 이온 소스(Gas Field Ionization Source)기반의 이온총 개발과 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
H2+Ar+CF4 ICP 시스템에서 CF4 주입위치에 따른 분압의 QMS Monitoring
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
QMS를 이용한 radical의 공간분포 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
H2+Ar+CF4 ICP 시스템에서 CF4 상하부 주입시 Mesh 효과에 따른 Multi QMS monitoring
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
대면적 표면처리용 1.55 m급 선형이온소스 개발 및 공정 기술 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
플라즈마 바이오 응용을 위한 QMS 시스템 구성
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
Compact Anode Design with the Heat Capacity Performance in Rotating Anode X-ray Tube for Digital Radiography
Applied Science and Convergence Technology
2015 .09
Etch back용 remote plasma system의 수치 모델링 및 QMS monitoring
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
디저트용 소스
베이커리
2001 .01
Anode 물질 변화에 따른 Anode 표면 및 구리전착막의 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
전극 구조와 공정 압력이 anode layer ion source의 방전 특성에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
진공 표면처리용 플라즈마 소스 개발 현황
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
150 keV CO₂ gas cluster 이온빔 소스의 특성 조사
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
QMS를 이용한 반도체 공정용 혼합 기체 조성비의 정량적 측정 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
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