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학술대회자료
저자정보
신진현 (한국표준과학연구원) 강상백 (한국표준과학연구원) 임종연 (한국표준과학연구원) 정완섭 (한국표준과학연구원) 윤주영 (한국표준과학연구원) 강상우 (한국표준과학연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제37회 하계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2009.8
수록면
313 - 313 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

첨단공정용 드라이펌프 유량 측정 한계 향상기술 개발
신진현 ,  고문규 ,  정완섭 외 3명 Applied Science and Convergence Technology 2009.11 학술저널
첨단공정용 드라이펌프 측정 throughput limit 향상기술 개발
신진현 ,  강상백 ,  임종연 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.08 학술대회자료

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