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저자정보
장종식 (한국표준과학연구원) 이은경 (한국표준과학연구원) 김경중 (한국표준과학연구원) 강희재 (충북대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제37회 하계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2009.8
수록면
349 - 349 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

산소이온빔에 의한 Si/Ge 다층박막의 SIMS 깊이분포도 분석에서 계면에서의 비정상적 신호 변화에 대한 연구
장종식 ,  이은경 ,  김경중 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.08 학술대회자료

2007

SIMS를 이용한 Si/Ge 다층박막의 조성 깊이 분포 분석 연구
장종식 ,  강희재 ,  김경중 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.08 학술대회자료

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스퍼터링에 의한 금속 나노박막 증착에서 광학적 특성을 이용한 in - situ 박막 두께 측정 연구
김경렬 ,  이지화 한국진공학회 학술발표회초록집 2001 .02
SIM을 이용한 빔크기 측정과 박막두께 측정
황경환 ,  A. L. Shabalin ,  최은하 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 1994 .02
SIMS분석의 문제점과 한계
문대원 한국진공학회 학술발표회초록집 1991 .07

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