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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.1
- 수록면
- 53 - 58 (6page)
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초록· 키워드
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초정밀 소형공작기계는 초정밀가공분야에서 마이크로/메조 스케일 가공품의 정밀제조기술의 핵심으로 개발되어 왔다. 소형초정밀기계의 기하학적 오차는 가공품의 품질에 큰 영향을 미치기 때문에 반드시 분석 및 보정되어야 한다. 기존 소형공작기계의 기하학적 오차는 주로 레이저 간섭계로 측정되었으나 한번의 설치로 모든 기하학적 오차를 측정할 수 없고 까다로운 절차를 따라야 한다. 그 대안으로써 PSD 로 구성된 측정시스템이 개발되었으나 측정가능거리가 PSD 의 유효영역에 한정되었다. 본 논문에서는 측정가능거리를 확장시키고 설치오차를 최소화하여 6-자유도 기하학적 오차를 측정하는 시스템을 제안하고 민감도 해석과 실험을 통하여 이 측정 시스템의 정확도를 증명하였다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 6-자유도 기하학적 오차측정 시스템
3. 실험
4. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (8)
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1. [학술지(정기간행물)] - Fujimasa, I / 1993 / Perspective of Micromachine Research / The Journal of the Institute of Electronics, Information, and Communication Engineers 76 (9) : 976 ~
2. [학술지(정기간행물)] - Takaya, Y / 1999 / Fundamental Study on the New Probe Technique for the Nano-CMM Based on the Laser Trapping and Mirau Interferometer / Journal of the International Measurement Confederation 25 (1) : 9 ~ 18
3. [학술지(정기간행물)] - Yang. H / 2001 / Ultra-Fine Machining Tool/Molds by LIGA Technology / Journal of Micromechanics and Microengineering 11 (2) : 94 ~ 99
4. [기타자료] - Hewlett Packard / / HP 5529A Dynamic Calibrator:Verify Machine Performance with the World Standard for Laser-Based Metrology
5. [학술지(정기간행물)] - 김수현 / 200109 / Multi-degree-of-freedom displacement measurement system for milli-structures / MEASUREMENT SCIENCE TECHNOLOGY 12 (9) : 1495 ~ 1502
2. [학술지(정기간행물)] - Takaya, Y / 1999 / Fundamental Study on the New Probe Technique for the Nano-CMM Based on the Laser Trapping and Mirau Interferometer / Journal of the International Measurement Confederation 25 (1) : 9 ~ 18
3. [학술지(정기간행물)] - Yang. H / 2001 / Ultra-Fine Machining Tool/Molds by LIGA Technology / Journal of Micromechanics and Microengineering 11 (2) : 94 ~ 99
4. [기타자료] - Hewlett Packard / / HP 5529A Dynamic Calibrator:Verify Machine Performance with the World Standard for Laser-Based Metrology
5. [학술지(정기간행물)] - 김수현 / 200109 / Multi-degree-of-freedom displacement measurement system for milli-structures / MEASUREMENT SCIENCE TECHNOLOGY 12 (9) : 1495 ~ 1502
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