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조용기 (한국생산기술연구원) 김강삼 (한국생산기술연구원) 송영식 (한국생산기술연구원) 임태홍 (한국생산기술연구원)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 한국표면공학회 2010년도 춘계학술대회 및 녹색성장을 위한 표면처리 기술 워크숍
발행연도
2010.5
수록면
113 - 114 (2page)

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Mo 박막은 높은 전기전도성과 열적 안전성이 아주 우수하고 SUS계 연성기판재와의 열팽창계수 차이가 크지 않아 CIGS 태양전지의 후면전극으로 사용되고 있다. 스퍼터링을 통해 증착되는 Mo 박막의 경우 전도성 및 밀착성은 증착압력에 따라 변화된다. 연구에서는 대면적인 CIGS 태양전지의 제조를 위한 연성기판재에 Mo를 증착하는 기술에 관한 것으로 DC 스퍼터링법과 아크 이온플레이팅법을 이용하여 Mo 박막을 증착하여 각 방법에 따른 전도성과 밀착성을 조사하는 것을 목적으로 하고 있다. 스퍼터링법에서 타겟에 인가되는 전력과 공정압력을 변수로 하여 Mo 박막의 증착율, 전기저항성을 측정 ... 전체 초록 보기

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