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이경황 (포항산업과학연구원) 박종원 (포항산업과학연구원) 정재인 (포항산업과학연구원) 양지훈 (포항산업과학연구원) 박영희 (포항산업과학연구원) 허규용 (포항산업과학연구원)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 한국표면공학회 2009년도 추계학술대회 및 녹색성장 친환경 표면처리 워크숍
발행연도
2009.10
수록면
177 - 178 (2page)

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DLC (Diamond-like Carbon) 코팅막은 저마찰, 고경도, 낮은 표면조도 등의 우수한 특성을 갖는 박막 물질로 다양한 산업분야에서 그 코팅막의 활용을 목적으로 응용연구가 활발하게 이루어지고 있다. 본 연구에서는 플라즈마 화학기상증착(PCVD) 공정을 이용하여 바이어스, 진공도, 공정 온도 등의 코팅 조건 변수를 이용하여 DLC 코팅막을 제작하였다. 또한, 코팅막은 공정 조건에 따라 증착속도, 표면 및 단면 조직, 밀착력, 경도, 마찰계수 등의 특성을 평가하였다. 플라즈마 화학기상증착법을 이용한 DLC 코팅막 제조는 상온과 175℃에서 이루어졌으며, 저온 중 DLC 코팅막 ^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE01593614');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#

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