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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 저널정보
- 대한전자공학회 ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications ICEIC : 2008
- 발행연도
- 2008.6
- 수록면
- 1,000 - 1,003 (4page)
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In this work, the effects of metal dimension and substrates to MEMS inductors characteristics have been studied. The suspended spiral inductors were fabricated by MEMS technologies with micro electroplating and thick film photolithography. The inductors were suspended by 20 ㎛ over the substrate to reduce the substrate coupling loss and have 10 ㎛ thick metal layer to reduce the ohmic loss. The measured quality factor of inductors fabricated on silicon substrate was over 20 at 2 ㎓. These inductors also fabricated and measured on various substrates such as high resistive silicon, glass, and quartz wafer. The quality factor of inductor fabricated on glass substrate was almost 30 at 4 ㎓ and that of inductor fabricated on quartz wafer was over 40 at same frequency region. Substrate resistance is the most important factor to the inductor performance to realize the inductors on quartz highest quality factors.
목차
Abstract
1. Introduction
2. Fabrication
3. Results and discussion
4. Conclusions
Acknowledgments
References
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